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硅材料電阻率測試方案
硅材料電阻率測試方案
本方案介紹了硅材料電阻率、方阻測試時四探針探頭、四探針儀器和四探針測試臺選擇原則和型號推薦。
產品類別: 硅材料電阻率方阻測試方案
上架時間: 2015/9/2 14:19:29
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產品詳細

 一、可以測試的硅材料類型

       多晶硅電阻率測試儀  單晶多晶硅片電阻率儀

               圖1-1 硅晶棒晶錠        圖1-2 多晶硅片    圖1-3 單晶硅片

     ST2258C多功能四探針測試儀  ST2253數字式四探針測試儀广东体彩网                                                                            

                     圖1-4普通硅片       圖 1-4 硅塊料                                                 

二、儀器配件選配方案

   硅材料電阻率、方阻測試方案選配核心的原則,一是要選擇專門測試硅材料的鎢針探頭,耐磨性好,使
用時間長,二是要知道硅材料的電阻率范圍,以便選配我公司合適的四探針測試儀。
   硅材料電阻率測試的方案選配分三個方面探頭的選配、儀器的選配、測試臺的選配。任意三件套組成
可以構成不同特色的方案,或側重價格、或側重技術精度、或適用場合或綜合考慮。
   2.1 探頭的選配:由于硅材料是硬度高,表面一般較粗糙,甚至有影響測試的氧化層等,所以硅材料測試
探頭選配原則是耐磨耐用,要有一定穿透性,推薦使用ST2253-F01型碳化鎢針四探針探頭。
如圖2-1 

 單晶硅電阻率測試儀

 圖 2-1 ST2253-F01 碳化鎢針探頭

   市場上也有鋼針的,但是耐用壽命不如碳化鎢針。我們蘇州晶格只有鎢針的。測試探頭有臺式的可以配合在任
意一款測試臺上。圖示為SZT-C型快速恒壓四探針測試臺,也有手持式的,適合手持式測試的。

     硅片電阻率測試           

           圖2-2 SZT-C測試臺

  2.2 四探針測試儀選配

     四探針測試儀選配的基本原則是材料電阻率或方阻的測試范圍、測試精度,一般測試范圍不算大的可
以選M-3手持式,如果范圍測試大一點的可以選擇臺式的ST2258C,帶PC軟件的可以選擇ST2253,如果想測
試精度更好,更準一點的可以選擇雙電測ST2263,這款也帶電腦PC軟件的。這三款可以自由選配,如下圖 
所示

    M-3手持式四探針測試

測試范圍、分辨率

  電  阻:  0.010Ω   ~  50.00kΩ,   分辨率0.001Ω ~ 10 Ω
 電 阻 率:  0.010Ω-cm ~ 20.00kΩ-cm, 分辨率0.001Ω ~ 10 Ω-cm
 方塊電阻:  0.050Ω/□ ~ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω ~ 10 Ω/□

 量程劃分及誤差等級

硅材料電阻率測試

M-3手持式四探針儀器 如下圖  

     M-3手持式是款充電式,里面是五個量程的,直接拿在手上就可以進行測試了,在車間
或出差方便攜帶。

 四探針測試儀,方阻測試儀广东体彩网         


 臺式ST2258C四探針測試儀   

測試范圍、分辨率

  電   阻:10.0×10-6 ~ 200.0×10∧3Ω,   分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10∧3  Ω
      (1.0×10-6 ~ 20.00×10∧3  Ω,    分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×10∧3 Ω)
  電 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×10∧3 Ω-cm  分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10∧3  Ω-cm
      (1.0×10-6 ~ 20.00×10∧3 Ω-cm   分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×10∧3 Ω-cm)
  方塊電阻:50.0×10-6 ~ 900.0×10∧3 Ω/□  分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×10∧3  Ω/□ 
     (5.0×10-6 ~ 100.0×10∧3 Ω/□   分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×10∧3  Ω/□)

量程劃分及誤差等級

硅材料電阻率測試

       臺式ST2258C是款測試范圍大一點,是八檔寬量程的,手動/自動量程,帶產品分類功能,比
M-3手持式多幾個量程。不帶電腦pc測試軟件的,手工記錄數據。

     

ST2258C

臺式ST2253四探針測試儀  

測試范圍、分辨率

  電  阻:1×10-4~2×10∧5 Ω   ,  分辨率:1×10-5~1×10∧2 Ω
  電阻率:1×10-4~2×10∧5 Ω-cm,  分辨率:1×10-5~1×10∧2 Ω-cm
  方  阻:5×10-4~1×10∧6 Ω/□,  分辨率:5×10-5~1×10∧2 Ω/□
量程劃分及誤差

方阻測試儀广东体彩网                              

        ST2253測試范圍和ST2258C是一樣的,也是八檔寬量程的。但ST2253是帶電腦PC軟件的,能夠
方便的記錄數據和儲存數據。

 硅材料電阻率測試

 臺式ST2263四探針測試儀  

測試范圍、分辨率

   電阻率:1×10-4~2×10∧5 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×10∧2 Ω-cm
   方  阻:5×10-4~1×10∧6 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×10∧2 Ω/□
   電  阻:1×10-5~2×10∧5 Ω   ,分辨率:1×10-6~1×10∧2 Ω

量程劃分及誤差等級

方阻測試儀

臺式ST2263如下圖  所示

        臺式ST2263這款是雙電測的,誤差小,測試更精準,帶電腦PC軟件

 四探針測試儀

2.3 硅材料測試四探針測試臺選配  

   一般測試臺可以選配我公司手動式的SZT-C,上下壓力可以手動調節,SZT-A或電動SZT-B型的都
可以選擇使用。

      硅材料電阻率測試    硅材料電阻率測試   四探針測試儀,方阻測試儀

                                SZT-C                      SZT-A                    SZT-B

 

 

 

 

  

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